一、設(shè)備性能：

鍍膜設(shè)備以金屬/有機(jī)源蒸發(fā)為主體，適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬單質(zhì)、氧化物、介電質(zhì)、半導(dǎo)體膜等，也可用作教學(xué)及生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等，整套設(shè)備操作簡便，綜合功能多，擴(kuò)展空間大，適合及滿足大專院校的教學(xué)與科研工作。

二、設(shè)備基本結(jié)構(gòu)：

鍍膜設(shè)備由真空室腔體，金屬/有機(jī)源系統(tǒng)，樣品臺系統(tǒng)，真空泵機(jī)組，膜厚檢測系統(tǒng)，設(shè)備機(jī)架，電控系統(tǒng)組成，真空室前門可與手套箱對接，采用一體化的設(shè)計(jì)方案，整套設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、布局簡潔，避免實(shí)驗(yàn)設(shè)備外觀凌亂的現(xiàn)象。

三、設(shè)備技術(shù)指標(biāo)：

產(chǎn)品名稱	帶手套箱三源蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品型號	CY-EVH400-III-HHH-SS-STX
真空室腔體	外形	上等 304 不銹鋼 D 形真空室腔體 1 套，真空室內(nèi)部尺寸 D400*480mm，前后雙開門，后門采用鉸鏈?zhǔn)椒介T，方便清洗真空腔體，真空室內(nèi)部調(diào)試，維修以及取放物品，前門采用橫拉方門，前后門各配 DN100 視窗 1 套；
	底部	金屬源接口 2 套，有機(jī)源接口 4 套， 復(fù)合分子泵接口 1 套，CF25照明接口 2 套以及膜厚探頭接口 3 套；
	頂部	樣品臺接口 1 套，電動(dòng)擋板接口 1 套，高真空氣動(dòng)擋板閥接口 1 套
	左側(cè)	超高真空氣動(dòng)擋板閥接口 1 套
金屬/有機(jī)源系統(tǒng)	金屬蒸發(fā)源	金屬蒸發(fā)源 2 套:水冷銅電極 2 組，兼容蒸發(fā)舟（鎢、鉬和鉭舟）和螺旋絲，配氣動(dòng)擋板，1KW 直流恒流電源 1 臺（數(shù)字顯示），電流調(diào)整精度 1A（微調(diào)），功率滿足常見的金屬以及金屬氧化物的蒸鍍；
	有機(jī)蒸發(fā)源 4 套	有機(jī)蒸發(fā)源 4 套:4CC（4ml） 石英舟，溫控電源 2 臺（溫控表顯示精度 0.1℃），溫度區(qū)間：室溫-500℃（控溫精度±1℃），配氣動(dòng)擋板；
	隔板	蒸發(fā)源相互獨(dú)立，隔板分隔，避免交叉污
樣品臺系統(tǒng)	基片旋轉(zhuǎn)	轉(zhuǎn)速 0～30 轉(zhuǎn)／分連續(xù)可調(diào)
	基片升降	電動(dòng)升降，襯底與蒸發(fā)源間距 200-300mm 通過觸摸屏連續(xù)可調(diào)；
	樣品臺	圓形托盤 1 套，一次可放置8片20×20mm 基片
	基片擋板	電動(dòng)擋板
真空泵機(jī)組	1) 600L/s分子泵 1 臺； 2) 8L/s雙級泵 1 臺 3) CF150 氣動(dòng)超高真空插板閥 1 臺； 4) CF40 超高真空氣動(dòng)擋板閥 1 臺； 5) KF16 高真空氣動(dòng)擋板閥 1 臺； 6) KF40 高真空氣動(dòng)擋板閥 1 臺； 7) KF40 真空電磁充氣閥 1 臺； 8) KF40 泵閥連接軟管 2 套，KF40 三通 1 套； 9) ZDF-5227 數(shù)顯真空計(jì) 1 臺（測量范圍：1×105～1×10-5Pa）。
膜厚檢測系統(tǒng)	膜厚儀	三通道石英晶振膜厚監(jiān)測儀 1 套；
	膜厚探頭	CF35 水冷膜厚探頭 3 套
設(shè)備機(jī)架	1) 40 碳鋼方管焊接機(jī)架 1 套，表面噴塑； 2) 萬向輪 4 件，移動(dòng)調(diào)整； 3) M16 地腳 4 件，鎖緊定位
電控系統(tǒng)	金屬源蒸發(fā)源氣動(dòng)擋板	2套
	金屬蒸發(fā)源電源1kw	1套
	有機(jī)源蒸發(fā)源氣動(dòng)擋板	4套
	有機(jī)蒸發(fā)源電源	2套（1帶2）
	烘烤照明電源	1 臺
	樣品臺電動(dòng)擋板	1套
	總控制電源	1套
	PLC 控制	配觸摸屏
手套箱	腔體尺寸	L1200* W750* H900mm
	手套	3只
	大過渡艙	內(nèi)徑360mm, 長 600mm
	小過渡艙	內(nèi)徑150mm, 長300mm
其他技術(shù)參數(shù)	1) 缺相保護(hù)、誤操作保護(hù)，聯(lián)動(dòng)互鎖以及一鍵真空啟停等功能； 2) 供電：～220V 兩相供電系統(tǒng)（峰值 3KW）； 3) 供水：小型冷水機(jī)，冷卻水溫度 5℃～35℃，工作環(huán)境溫度：10℃～40℃； 4) 供氣：小型無油靜音氣泵，提供 0.2-0.3MPa 氣壓，驅(qū)動(dòng)氣動(dòng)閥門； 5) 極限真空：優(yōu)于 6×10-5Pa，大氣至 6×10-4Pa 時(shí)間小于 35 分鐘（充干燥氮?dú)猓?，關(guān)機(jī) 12 小時(shí)真空度≤10Pa。